MKS射頻電源常見故障及維修
故障現(xiàn)象1：打開電源，電源指示燈不亮；
故障現(xiàn)象2：電源燈亮了，預(yù)熱燈不亮；
故障現(xiàn)象3：電源燈亮了，預(yù)熱燈亮、輝光亮，匹配器功率及反射功率，電源的功率指示和電流指示不正常。（正常的功 率指針指到220，電流指示0.4）
故障現(xiàn)象4：電源燈亮了，預(yù)熱燈亮，輝光不亮:；
故障現(xiàn)象5：無功率輸出；
故障現(xiàn)象6：有功率輸出，但是調(diào)不大，或是調(diào)不到正常值。
故障現(xiàn)象7：無反射功率，或反射功率過大，射頻功率源壞
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